具有多阶应力集中区的压力传感器
授权
摘要
本实用新型提供一种具有多阶应力集中区的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层;其中,衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔,第一表面上设置有压力敏感单元;绝缘钝化层设置在压力敏感单元背离衬底的一侧,绝缘钝化层上设置有贯穿其厚度的金属化过孔,导线层设置在绝缘钝化层背离衬底的一侧,导线层通过金属化过孔与压力敏感单元电连接;并且,绝缘钝化层上还设置有多阶应力集中区,多阶应力集中区与压力敏感单元相对应,以在压力敏感单元处产生应力集中。所设置的多阶应力集中区可以在压力敏感单元处产生应力集中,从而在相同量程的情况下,可以有效提高压力传感器的线性度和灵敏度。
基本信息
专利标题 :
具有多阶应力集中区的压力传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021311220.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-07
授权号 :
CN212458729U
授权日 :
2021-02-02
发明人 :
李维平兰之康李晓波
申请人 :
南京高华科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市经济开发区栖霞大道66号
代理机构 :
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 :
李明
优先权 :
CN202021311220.3
主分类号 :
G01L1/20
IPC分类号 :
G01L1/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化;应用动力电池,即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
法律状态
2021-02-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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