宽应力区硅压力传感器
专利权的终止
摘要

本实用新型属于半导体压力传感器技术领域,其特征在于:所述传感器包括应力区展宽了的感压膜和其周围的支撑部分,压敏电阻制作在跨越感压膜边界的大应力区内,组成惠斯通电桥,把压力变化转换成电信号输出;所述压敏电阻其垂直于感压膜边界的折数要大于平行于边界的压敏电阻的折数,以符合高应力区的形状;在电阻转折处的电阻条宽大于正常的电阻条宽,同时进行高浓度离子注入,以减小转折处的电阻值;所述感压膜的厚宽比尽可能大,以满足对边界外高应力区宽度的要求。本实用新型在芯片面积缩小、不缩小线条的条件下,利用膜外高应力区,增大应力区面积,以达到提高传感器的灵敏度和降低废品率的目的。

基本信息
专利标题 :
宽应力区硅压力传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720103716.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-03-02
授权号 :
CN201034757Y
授权日 :
2008-03-12
发明人 :
刘理天林惠旺张兆华任天令
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
100084北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200720103716.X
主分类号 :
G01L1/20
IPC分类号 :
G01L1/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化;应用动力电池,即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
法律状态
2011-05-11 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101069289173
IPC(主分类) : G01L 1/20
专利号 : ZL200720103716X
申请日 : 20070302
授权公告日 : 20080312
终止日期 : 20100302
2008-03-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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