区熔单晶硅炉

专利权的终止

摘要

本实用新型属于一种区熔单晶硅炉，采用中炉膛中部一侧通过真空管道相通复合分子泵的抽气口，复合分子泵的抽气口与真空管道之间设有真空挡板阀，复合分子泵通过分子泵固定栓固接在支架上。本实用新型能用简单的结构提高炉膛内的真空度，以提高硅籽晶质量，达到理想的使用效果。

基本信息

专利标题：

区熔单晶硅炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620117810.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-05-29

授权号：

CN2913390Y

授权日：

2007-06-20

发明人：

张志新王军安桂正

申请人：

北京京运通真空设备厂

申请人地址：

101113北京市通州工业开发区张家湾西定福庄

代理机构：

北京汇泽知识产权代理有限公司

代理人：

闫立德

优先权：

CN200620117810.6

主分类号：

C30B13/00

IPC分类号：

C30B13/00

相关图片

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C30

晶体生长

C30B

单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置

C30B13/00

区域熔融法单晶生长；区域熔融法精炼

法律状态

2016-06-29 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101667770937
IPC(主分类) : C30B 13/00
专利号 : ZL2006201178106
申请日 : 20060529
授权公告日 : 20070620
终止日期 : 无

2010-08-25 ：

文件的公告送达

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101007043006
IPC(主分类) : C30B 13/00
专利号 : ZL2006201178106
专利申请号 : 2006201178106
收件人 : 花朝
文件名称 : 缴费通知书

2010-06-09 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101002778088
IPC(主分类) : C30B 13/00
专利号 : ZL2006201178106
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京京运通真空设备有限公司
变更后 : 北京京达通真空设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 101113 北京市通州工业开发区张家湾西定福庄
变更后 : 101113 北京市通州工业开发区张家湾西定福庄

2010-06-09 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101002778089
IPC(主分类) : C30B 13/00
专利号 : ZL2006201178106
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京京达通真空设备有限公司
变更后权利人 : 北京京运通科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 101113 北京市通州工业开发区张家湾西定福庄
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区经海四路158号
登记生效日 : 20100429

2008-12-31 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京京运通真空设备厂
变更后 : 北京京运通真空设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 北京市通州工业开发区张家湾西定福庄,邮编 : 101113
变更后 : 北京市通州工业开发区张家湾西定福庄,邮编 : 101113

2007-06-20 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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