一种检测器件、MEMS陀螺仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种检测器件、MEMS陀螺仪，涉及微电子机械系统领域技术领域。本实用新型的检测器件固定在玻璃基底上，包括：第一电极块、第二电极块、第一质量块、第二质量块和固定锚点，第一电极块和第一质量块、第二电极块和第二质量块均通过电容连接，第一电极块和第二电极块结构相同，第一质量块和第二质量块结构对称，对称设置在固定锚点之间；第一质量块、第二质量块、固定锚点之间通过支承梁连接，第一电极块、第二电极块、固定锚点均与玻璃基底键合，第一质量块和第二质量块悬浮在玻璃基底上方。本实用新型的技术方案提高了陀螺仪的品质因子Q，实现了驱动和检测的机械解耦，减少了噪声信号，提高了陀螺仪的信噪比。
基本信息
专利标题 ：
一种检测器件、MEMS陀螺仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021316208.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-07
授权号 ：
CN212843622U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
王丹宋吉涛余综牛满科李慧灵
申请人 ：
北京坦达联轩控制技术有限公司
申请人地址 ：
北京市丰台区卢沟桥东关3.5号8幢2层203室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021316208.1
主分类号 ：
G01C19/5656
IPC分类号 ：
G01C19/5656 G01C19/5663
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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