具有整束喷嘴的马兰戈尼干燥装置

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摘要

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，公开了一种具有整束喷嘴的马兰戈尼干燥装置，包括：用于旋转晶圆的驱动机构、用于输送流体的供给臂以及箱体；所述供给臂可沿晶圆平面摆动并经由设置于其自由端处的喷嘴将干燥气体供应至晶圆上；所述喷嘴形成为：包括设于所述喷嘴内部的用于气体流通的腔室，所述腔室贯通位于所述喷嘴两端的进气口和出气口，所述腔室包括窄径腔、第一过渡腔和宽径腔，所述第一过渡腔连接在窄径腔和宽径腔之间以实现贯通，所述第一过渡腔的内径沿进气口至出气口的方向逐渐增大以对整束流经所述喷嘴的气体并使其减速。

基本信息

专利标题：

具有整束喷嘴的马兰戈尼干燥装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021349240.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-10

授权号：

CN211503561U

授权日：

2020-09-15

发明人：

李长坤赵德文曹自立路新春

申请人：

清华大学;华海清科股份有限公司

申请人地址：

北京市海淀区清华园1号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021349240.X

主分类号：

F26B11/18

IPC分类号：

F26B11/18 F26B21/00 H01L21/67