一种多晶硅片清洁用喷淋装置
授权
摘要

本实用新型涉及多晶硅片生产技术领域,具体为一种多晶硅片清洁用喷淋装置,包括托板、支撑架和第二滑槽,所述托板的下端对称固定安装有两组第一滑槽,所述第一滑槽的左右两端通过螺栓安装有限位块,且限位块表面胶合有橡胶垫,所述第一滑槽的下端安装有第一滑块,所述第一滑槽与第一滑块设置为滑动连接,所述第一滑块的下端竖向开设有孔洞,且孔洞的开口处安装有螺母。本实用新型通过将需要清洁的多晶硅片放置在滑动板上,通过滑动板上下两端开设的滚动槽与转动轮进行滑动,使得本装置可通过人工对多晶硅片进行清洁,方便对一些顽固污渍,进行反复清洗,提高了多晶硅片的表面清洁度。

基本信息
专利标题 :
一种多晶硅片清洁用喷淋装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021354975.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-11
授权号 :
CN213033102U
授权日 :
2021-04-23
发明人 :
李茂欣
申请人 :
上海磐盟电子材料有限公司
申请人地址 :
上海市松江区长塔路399号2幢
代理机构 :
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 :
尹均利
优先权 :
CN202021354975.1
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2021-04-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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