点胶机

授权

摘要

本实用新型公开了一种点胶机，点胶机包括：晶圆加热装置，所述晶圆加热装置的上方承载有待点胶的晶圆；点胶机本体，所述点胶机本体能够对所述晶圆进行点胶；红外检测模块，所述红外检测模块设于所述点胶机本体上，所述红外检测模块能够检测所述晶圆的温度，所述红外检测模块与所述晶圆加热装置相配合以在所述晶圆的温度低于设定温度时通过晶圆加热装置提高所述晶圆的温度。根据本实用新型实施例的点胶机的红外检测模块可对晶圆的温度进行检测，在晶圆的温度低于设定温度时提高晶圆的温度。该点胶机具有点胶质量高，设置简单等优点。

基本信息

专利标题：

点胶机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021418315.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-17

授权号：

CN213245032U

授权日：

2021-05-21

发明人：

郜福亮周典虬苗虎林翔曲东升李长峰

申请人：

常州铭赛机器人科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦

代理机构：

常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

赵旭

优先权：

CN202021418315.5

主分类号：

B05C5/02

IPC分类号：

B05C5/02 B05C9/14 B05D3/02 B05C11/10 H01L21/67