一种红外热电堆传感装置
授权
摘要
本实用新型提供一种红外热电堆传感装置,其包括基于基底层形成的热电堆传感器,所述热电堆传感器包括吸收区,所述基底层上形成有空腔,所述吸收区悬置于所述基底层的空腔之上,所述吸收区包括层叠的第一金属层、介质层和第二金属层,所述第一金属层相较于第二金属层更靠近所述基底层的空腔,所述吸收区的介质层位于第一金属层和第二金属层之间,所述吸收区的第二金属层被图形化以形成预定图形。这样,通过将金属层制作成预定图形来增强红外吸收率,调整特定波长吸收率,从而提高红外热电堆传感装置的性能。
基本信息
专利标题 :
一种红外热电堆传感装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021447315.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-21
授权号 :
CN212432357U
授权日 :
2021-01-29
发明人 :
刘尧凌方舟蒋乐跃储莉玲
申请人 :
美新半导体(无锡)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号
代理机构 :
苏州简理知识产权代理有限公司
代理人 :
朱亦倩
优先权 :
CN202021447315.8
主分类号 :
G01J5/12
IPC分类号 :
G01J5/12 G01J5/16 G01J5/10 G01J5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J5/00
辐射高温测定法
G01J5/10
用电辐射检测器
G01J5/12
用热电元件,例如热电偶
法律状态
2021-01-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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