一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器，包括由不少于一个热电偶串联组成的热电堆区以及集成在热电堆区上的热敏电阻，热电偶包括支撑层，所述支撑层上设有复合薄膜，复合薄膜包括氮化硅层一和氧化硅层一，在复合薄膜上设有第一热偶层，所述第一热偶层上设有氧化硅层二，所述氧化硅层二上设有第二热偶层，所述第二热偶层上设有氮化硅层二，所述支撑层下端设有背腔。本实用新型与现有技术相比的优点在于：把热敏电阻集成到热电堆芯片中，通过半导体工艺一并实现出带有热敏电阻的热电堆，大大的减少了封装面积和成本。
基本信息
专利标题 ：
一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021926490.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-07
授权号 ：
CN212693086U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
窦云轩
申请人 ：
中微龙图电子科技无锡有限责任公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山经济技术开发区芙蓉中三路99号瑞云4座606室
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
王勇
优先权 ：
CN202021926490.5
主分类号 ：
G01J5/12
IPC分类号 ：
G01J5/12 G01J5/20 H01L35/10 H01L35/32 H01L35/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J5/00
辐射高温测定法
G01J5/10
用电辐射检测器
G01J5/12
用热电元件，例如热电偶
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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