一种用于真空镀膜的升华加热装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于真空镀膜的升华加热装置，包括升华管和升华炉，升华炉通过移动组件滑动套设在升华管外；移动组件包括第一滑轨和第二滑轨，第一滑轨和第二滑轨上均滑动安装有滑轮；第一滑轨的长度方向与升华管一致；第二滑轨的长度方向与第一滑轨垂直，且第二滑轨与第一滑轨的滑轮固定连接；升华炉与第二滑轨的滑轮固定连接；将升华炉移开之后，可在升华炉预热升温的同时对升华管进行进料、抽真空，升华完成后，移开升华炉还能加快升华管的降温冷却，大大减少了操作人员实际生产时的等待时间，提高了生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用于真空镀膜的升华加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021454193.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-22
授权号 ：
CN213232486U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
渠艳良李雷
申请人 ：
派珂纳米科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区东富路32号4幢408室
代理机构 ：
苏州创策知识产权代理有限公司
代理人 ：
范圆圆
优先权 ：
CN202021454193.5
主分类号 ：
C23C16/448
IPC分类号 ：
C23C16/448
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/448
产生反应气流的方法，例如通过母体材料的蒸发或升华
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
CN213232486U.PDF
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