一种真空镀膜用升华炉
授权
摘要
本实用新型提供了一种真空镀膜用升华炉，包括升华管和加热炉，加热炉滑动套设在升华管外，加热炉的内壁上设有加热片；升华管的一端设有进料口以及与进料口相匹配的端盖，另一端设有出气口；出气口的内侧设有隔热滤芯，既能过滤镀膜材料内的粉尘杂质，又能隔绝温度流，防止升华管和分解炉串温，保证了镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜用升华炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021601302.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-05
授权号 ：
CN213232472U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
渠艳良李雷
申请人 ：
派珂纳米科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区东富路32号4幢408室
代理机构 ：
苏州创策知识产权代理有限公司
代理人 ：
范圆圆
优先权 ：
CN202021601302.1
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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