一种真空泵快速抽气系统
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摘要
本实用新型涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种真空泵快速抽气系统，包括真空腔体、真空泵组件和变频控制器，其特征在于，所述真空泵组件包括：前级泵和助力泵；所述前级泵和助力泵通过抽气管路连接，所述助力泵连接真空腔体；所述前级泵和助力泵上均设置有变频控制器；所述真空腔体内设置有一对腔体闸阀，用于所述真空腔体上还设置有真空压力计；采用本实用新型，变频控制器配合真空压力计，实时监测调整真空泵组件；利用变频控制器分别控制前级泵和助力泵，实现了频率精准控制，减缓抽气管路的气体挤压，防止产生气体压缩积热；整体有效快速抽气真空，缩短整体制程时间，增加生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种真空泵快速抽气系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021479128.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-24
授权号 ：
CN213016795U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
吴煜明
申请人 ：
柏霆（苏州）光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市江苏省苏州高新区木桥街1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021479128.8
主分类号 ：
F04C25/02
IPC分类号 ：
F04C25/02 F04C23/00 F04C28/24
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C
旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C25/00
适于特殊用途的弹性流体泵
F04C25/02
用于产生高真空
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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