一种四探针检测装置
授权
摘要
本实用新型公开一种四探针检测装置，包括：工作台；测试机架，测试机架设置在工作台上；伸缩液压缸，伸缩液压缸安装在测试机架上；辅助架，辅助架安装在伸缩液压缸的输出端，且辅助架上安装有测试头；测试盘，测试盘设置在测试机架的底座上，本实用新型解决了硅片的电学性能检测不方便的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
一种四探针检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021496983.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-24
授权号 ：
CN213600748U
授权日 ：
2021-07-02
发明人 ：
王娜
申请人 ：
扬州虹扬科技发展有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市邗江区槐泗镇弘扬东路45号
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
潘云峰
优先权 ：
CN202021496983.X
主分类号 ：
G01R1/073
IPC分类号 ：
G01R1/073
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2021-07-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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