本实用新型公开了一种跟随式薄膜成像在线检测光源装置，包括封闭的轨道，且所述轨道包括直线段；所述轨道上间隔设有发光单元，所述轨道上设有用于驱动所有的所述发光单元以同样的速率移动的跟随驱动机构；所述发光单元包括底座，所述底座的下方设有滑轨，所述滑轨与所述轨道滑动配合；所述底座的上方设有凹槽，所述凹槽内设有亮度可调节的面光源。本实用新型的跟随式薄膜成像在线检测光源装置，通过设置封闭的轨道，并在轨道上间隔设置发光单元，如此，利用跟随驱动机构驱动发光单元以薄膜相同的速率沿着直线段移动，即可实现使发光单元与被测薄膜同步跟随移动的技术目的，从而可以方便地在线对薄膜进行成像检测，以满足工业化生产的要求。