本实用新型属于CVD设备领域，具体涉及一种CVD设备加热温度控制装置，CVD设备的沉积室内安装有红外温度传感器探头，水冷夹层内安装有水压传感器探头；红外温度传感器探头连接至红外温度计仪表，红外温度计仪表连接至温度变送器，温度变送器连接至输入模块；水压传感器探头通过水压变送器连接至输入模块；等离子炬通过电压变送器和电流变送器将其电压和电流反馈到输入模块；PLC经PID运算通过炬电压给定器控制等离子炬的给定电压，实现对CVD设备加热温度的调节，实现了CVD工艺升温‑保温‑降温的自动调控，提高温控精度，节约用电成本，减少金刚石薄膜色差和整膜率，提高产品的品质及合格率，可追溯查看温度历史曲线。