一种单晶硅加工用高温炭还原装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种单晶硅加工用高温炭还原装置，涉及单晶硅加工技术领域，包括工作台，工作台内腔的底部转动连接有转动柱，工作台内腔的底部远离转动柱的一端固定连接有第一伺服电机，第一伺服电机的输出端固定套有主动锥齿轮，本实用新型的有益效果为：该单晶硅加工用高温炭还原装置，通过设置有连接板、筒盖以及顶盖，当单晶硅还原完成后，第二伺服电机的输出端带动螺纹杆进行转动，螺纹杆带动滑块沿着转动柱内腔向上滑动，带动连接板向上移动，使连接板带动筒盖向上移动，使筒盖带动顶盖上移，使得固定在顶盖底部的单晶硅从高温筒内部取出，不需要工作人员人工从高温筒内部取出，从而提高了本装置对单晶硅的高温炭还原加工效率。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶硅加工用高温炭还原装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021531777.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN213266789U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
万文
申请人 ：
安徽环巢光电科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市巢湖市居巢区黄麓镇临湖居委会
代理机构 ：
成都蓉创智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
谭新民
优先权 ：
CN202021531777.8
主分类号 ：
C30B29/06
IPC分类号 ：
C30B29/06 C30B33/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
硅
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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