一种单晶硅加工用高温加工装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种单晶硅加工用高温加工装置，涉及单晶硅加工技术领域，包括加温箱，加温箱的内部放置有移动放置盒，移动放置盒内壁相对应的两侧均安装有电动伸缩固定杆，两个电动伸缩固定杆的输出端均安装有夹持固定板，加温箱内部且位于移动放置盒相对应的两侧均安装有内限位安装块，实用新型的有益效果为：该单晶硅加工用高温加工装置，通过使用滑动取出式的移动放置盒和升降式的上封闭盖组合，可以通过将移动放置盒拉出对单晶硅进行放置，并在放置完成后利用上封闭盖进行封闭，随后通过上安装箱对加温箱内部进行加热，完成对单晶硅的高温碳还原，对物料的拿取更加方便。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶硅加工用高温加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021530167.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN213266788U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
万文
申请人 ：
安徽环巢光电科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市巢湖市居巢区黄麓镇临湖居委会
代理机构 ：
成都蓉创智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
谭新民
优先权 ：
CN202021530167.6
主分类号 ：
C30B29/06
IPC分类号 ：
C30B29/06 C30B1/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
硅
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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