真空吸附平台及质子膜涂布设备
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及一种真空吸附平台,包括基座、微孔吸板及柔性密封件。微孔吸板置于基座一侧的凹槽内并与凹槽配合形成真空腔,且微孔吸板的外周缘与凹槽的内周缘之间形成有间隙。柔性密封件可以防止真空腔通过间隙与外界环境进行气体交换,从而防止因间隙泄漏真空而影响真空吸附平台的吸附效果。当微孔吸板受热膨胀时,间隙的宽度也会随之发生变化。此时,柔性密封件通过弹性形变与间隙的宽度保持匹配,从而始终使间隙保持密封。而且,间隙可在微孔吸板受热时为其提供膨胀的空间。因此,当微孔吸板受热膨胀时,其所受的横向作用力较小,无法使其表面产生裂纹。可见,上述真空吸附平台的可靠性得到提升。此外,本实用新型还提供一种质子膜涂布设备。

基本信息
专利标题 :
真空吸附平台及质子膜涂布设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021537551.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-29
授权号 :
CN213000966U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
无锡先导智能装备股份有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新锡路20号
代理机构 :
北京华进京联知识产权代理有限公司
代理人 :
赵永辉
优先权 :
CN202021537551.9
主分类号 :
B05C13/02
IPC分类号 :
B05C13/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C13/00
操纵或夹持工件的方法,如对单个物体
B05C13/02
对特殊物品
法律状态
2022-02-25 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B05C 13/02
登记生效日 : 20220215
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无锡先导智能装备股份有限公司
变更后权利人 : 江苏氢导智能装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214123 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新锡路20号
变更后权利人 : 214026 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇环镇北路12号
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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