加速度传感器及电子设备
授权
摘要
本申请提供了一种加速度传感器及电子设备，该加速度传感器包括：衬底；设置在衬底的一侧的至少一个XY方向固定点、Z方向固定点、第一固定电极组、第二固定电极组和第三固定电极组；第一质量块，与至少一个XY方向固定点可动连接，第一质量块包括第一区域和第二区域，第一区域与第一固定电极组构成X方向的第一检测电容组，第二区域与第二固定电极组构成Y方向的第二检测电容组，第一区域与第二区域可动连接；第二质量块，与Z方向固定点可动连接，第二质量块与第三固定电极组构成Z方向的第三检测电容组。本申请实施例提供的加速度传感器能够降低成本、减小交叉耦合及提高检测结果的准确度。
基本信息
专利标题 ：
加速度传感器及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021537748.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN212622669U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
李哲庄瑞芬李刚
申请人 ：
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW9楼102室
代理机构 ：
北京布瑞知识产权代理有限公司
代理人 ：
秦卫中
优先权 ：
CN202021537748.2
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125 G01P15/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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