一种硅片氧化测试工具
授权
摘要
本发明提供一种硅片氧化测试工具，其特征在于：包括工具主体，所述工具主体为矩形双层框架，上层框架为中空结构，所述上层框架的顶部开有五个直径3厘米的孔洞，所述孔洞呈梅花形五点排布；下层框架与上层框架的接触面相对的两边上对应的各开有一个凹槽；所述工具主体整体采用透明材质。使用本申请测试工具时，将氧化过的硅片放置于上层框架内部，位于孔洞正下方，然后用吸管滴水至5个孔洞的中间，等待5分钟，观察扩散是否大于孔洞，就可直观、准确的判定硅片是否氧化合格。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片氧化测试工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021564776.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-31
授权号 ：
CN212807953U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
陈文建
申请人 ：
江苏润阳光伏科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市建湖县经济开发区北京路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021564776.3
主分类号 ：
G01N13/00
IPC分类号 ：
G01N13/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N13/00
测试表面或边界效应，例如润湿力；测试扩散效应；通过测定表面、边界或扩散效应分析材料
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
