掩模版光学自动检测的载入装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种掩模版光学自动检测的载入装置，其包括：移动平台，连接在所述移动平台上的第一承载夹具，连接在所述第一承载夹具上并设置有可供容纳所述掩模版的容纳槽的第二承载夹具，设置在所述第一承载夹具的下方并构造成发出照射在所述容纳槽中的光的光源，和设置在所述第二承载夹具的上方并构造成正对所述光源的物镜；所述第二承载夹具和所述第一承载夹具之间真空吸附，且所述第二承载夹具的所述容纳槽的底部还设置有用于真空吸附所述掩模版的开口。
基本信息
专利标题 ：
掩模版光学自动检测的载入装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021577171.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-31
授权号 ：
CN212780473U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
柯轲谢超
申请人 ：
深圳市龙图光电有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区沙井街道新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房一楼
代理机构 ：
深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
寇闯
优先权 ：
CN202021577171.8
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/892
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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