本实用新型属于半导体元件加工领域，尤其涉及一种半导体元件加工用输送装置，包括下料腔、输送架、第一传送机构、第二传送机构、第三传送机构、第四传送机构和第五传送机构，所述下料腔架设在输送架上部一端，所述输送架内部嵌设有第一倾斜板，所述第一倾斜板一侧开设有开口槽，所述开口槽下方设置有第二倾斜板，所述第二倾斜板嵌设在输送架内部，所述开口槽外侧设置有与输送架固定连接的挡板；本实用新型在实际使用时，可以将半导体元件进行有序排列，并分排传送，且能够对半导体元件进行翻面，不仅提高了传送效率，而且保证传送后半导体元件的使用，提高对半导体元件加工的效率，利用设置的检测头，方便对半导体元件进行扫描分析。