一种位置信息采集系统及曝光系统
授权
摘要
一种位置信息采集系统及曝光系统，所述位置信息采集系统包括读数头和位置检测板、电光转换模块、光电转换模块和光纤，所述读数头连接电光转换模块，所述位置检测板连接光电转换模块，所述电光转换模块和所述光电转换模块通过光纤连接。所述曝光系统包括移动平台系统、投图控制系统，通过上述位置信息采集系统连接所述移动平台系统和投图控制系统。本实用新型利用光纤传输位置信息，有效减少了电磁干扰对位置检测板的影响，进而获得稳定可靠的位置信号。
基本信息
专利标题 ：
一种位置信息采集系统及曝光系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021595399.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN213956258U
授权日 ：
2021-08-13
发明人 ：
张峰李伟成张雷
申请人 ：
苏州源卓光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021595399.X
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G08C23/06
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2021-08-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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