铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置
授权
摘要
本实用新型公开了铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，包括多个支撑杆、多个第二固定柱、多个第一固定柱和储水箱，所述支撑杆的顶部焊接有安装环，安装环的一侧通过螺栓固定有加热罐，加热罐的底部内壁通过螺栓固定有安装板，安装板的顶部通过螺栓固定有温度传感器，安装板的上表面设有加热板，且加热罐的一侧设有隔热门，所述加热罐的内部设有加热锅，且加热罐的顶部焊接有蒸馏管，蒸馏管的一端与储水箱相连接。本实用新型能够利用水蒸气液化时散发的温度对加热罐进行保温，充分利用加热时产生的热能，提高了提纯的效率，且实现了对六氟乙酰丙酮的提纯，提高六氟乙酰丙酮的利用率。
基本信息
专利标题 ：
铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021597233.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-05
授权号 ：
CN213724892U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
曹季
申请人 ：
芯越芯（南京）电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区高科五路一号
代理机构 ：
南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何薇
优先权 ：
CN202021597233.1
主分类号 ：
B01D3/00
IPC分类号 ：
B01D3/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D3/00
蒸馏或相关的在液体同气体介质相接触的过程中发生交换的方法，例如汽提
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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