一种蚀刻内腔保护环

授权

摘要

本实用新型涉及一种蚀刻内腔保护环，所述蚀刻内腔保护环包括第一空心圆管和第二空心圆管；所述第一空心圆管和第二空心圆管之间设置有过渡环；所述过渡环为空心圆环；所述第一空心圆管的直径小于所述第二空心圆管的直径；所述空心圆环的内径等于所述第一空心圆管的直径；所述空心圆环的外径等于所述第二空心圆管的直径；所述蚀刻内腔保护环的外表面设置有花纹。根据蚀刻内腔的结构和使用要求，设计专用保护环的外形，同时在表面设置花纹，降低了腔室部件的更换清洗频率，提高生产效率，节约生产成本。同时实际使用过程中可根据蚀刻内外腔的具体黏附状态，选择性只拆除更换保护环，其他部件无更换，提高设备使用寿命，且更换时间更短。

基本信息

专利标题：

一种蚀刻内腔保护环

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021622808.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-06

授权号：

CN212542346U

授权日：

2021-02-12

发明人：

姚力军边逸军潘杰王学泽黄艾东张林桥

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司

代理人：

王岩

优先权：

CN202021622808.0

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32 H01L21/3065