一种集成真空测量室
授权
摘要
本实用新型涉及一种集成真空测量室，包括室体、若干功能单元、用于连接待抽空件的真空快卸法兰和用于连接抽空机组的抽空机组连接法兰，真空快卸法兰与室体密封连接，抽空机组连接法兰与室体之间设有气动高真空挡板阀，气动高真空挡板阀的两端分别与室体及抽空机组连接法兰密封连接；所述的室体上设有若干用于连接功能单元的功能接口，功能接口的接管与室体密封连接，功能单元连接在功能接口上或直接与室体连接。本实用新型的功能单元均连接在室体上，功能单元高度集成，减少密封连接面数量，确保测量环境真实可靠，使尺寸紧凑，缩短真空管道尺寸，减少流导损失，提高抽空效率，功能齐全，部分功能单元可以更换，适应多种使用环境，安装拆卸方便。
基本信息
专利标题 ：
一种集成真空测量室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021625251.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-05
授权号 ：
CN212779730U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
应建明*俊鹤温玉珺陈昊
申请人 ：
杭州富士达特种材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区凤翔路178号
代理机构 ：
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
乐俊
优先权 ：
CN202021625251.6
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00 G01D21/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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