一种硅片抛光机台的加工座
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片抛光机台的加工座，涉及硅片加工领域，包括游星轮、第一载板、第二载板以及胶层，游星轮设有第一安装槽，一载板可分离地装嵌于第一安装槽；第一载板设有第二安装槽，并在第二安装槽的内部设有若干限位通孔，第二载板设有若干限位凸台，第二载板可分离地装嵌于第一载板，且若干限位凸台一一嵌设于若干限位通孔；第二载板的上端面贴设有所述胶层，并且所述胶层的上端面低于第二安装槽的开口。本实用新型的有益效果：本实用新型可以更好的固定放置硅片，防止抛光时硅片移位，保证硅片抛光的平整度，同时还便于从加工座上拆卸加工后的硅片，避免薄硅片受损，甚至破碎。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片抛光机台的加工座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021630339.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-07
授权号 ：
CN212635417U
授权日 ：
2021-03-02
发明人 ：
陈峰洪章源
申请人 ：
厦门陆远科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔星路88号台湾科技企业育成中心南W603A室
代理机构 ：
泉州市博一专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
方传榜
优先权 ：
CN202021630339.7
主分类号 ：
B24B41/06
IPC分类号 ：
B24B41/06 B24B29/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/06
工件支架，如可调中心架
法律状态
2021-03-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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