一种单晶硅片用的多工位抛光机
授权
摘要
本实用新型公开了一种单晶硅片用的多工位抛光机，包括基板，所述基板上并排设有左竖直板和右竖直板，所述左竖直板和右竖直板之间设有夹持组件，所述夹持组件用于夹持单晶硅片；所述基板上在左竖直板的一侧设有用于驱动夹持组件转动的动力组件、在右竖直板的一侧设有抛光组件，所述抛光组件用于给位于夹持组件上的单晶硅片抛光；该抛光机不仅结构简单，而且能够大大提高抛光效率和抛光质量。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶硅片用的多工位抛光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921776844.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-22
授权号 ：
CN211332679U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
孙韬
申请人 ：
宁波日晟新材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
代理机构 ：
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
朱玉泉
优先权 ：
CN201921776844.X
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B27/00 B24B41/06 B24B47/22 B24B47/12 B24B47/16
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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