一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机
授权
摘要
本实用新型属于单晶硅片抛光机领域，具体为一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机，包括抛光机构，所述抛光机构包括抛光机、抛光盘，所述抛光机顶部设有所述抛光盘，所述抛光机构上设有位移机构，所述位移机构上设有清洁机构，所述清洁机构包括伸缩气缸、连接板、清洁支撑架、电机一、清洁刷辊，所述伸缩气缸伸缩杆上设有所述连接板，所述连接板后部焊接有所述清洁支撑架，所述清洁支撑架上且位于所述连接板一侧设有所述电机一，所述电机一输出轴上设有所述清洁刷辊，所述清洁刷辊一侧设有水管，所述水管底部均匀分布有喷水嘴。本实用新型采用清洁机构和位移机构，从而可以对单晶硅片抛光机进行清洁，因此使用方便。
基本信息
专利标题 ：
一种具有清洁结构的单晶硅片抛光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020218520.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-27
授权号 ：
CN211681520U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
沈培琴
申请人 ：
徐州永泽新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区沂蒙山路东侧、松花江路南侧
代理机构 ：
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
晋圣智
优先权 ：
CN202020218520.0
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B41/00 B24B47/22 B08B1/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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