一种双头分级单晶硅双面抛光机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种双头分级单晶硅双面抛光机构包括研磨机主体,所述研磨机主体的内部设置有支撑板,所述支撑板的下方对称设置有四个万向球,所述支撑板的上方在位于研磨机主体的内部对称设置有四个支撑臂,四个所述支撑臂的上方对称设置有两个连接杆,两个所述连接杆上设置有一个调节丝杆,所述研磨机主体的下端对称设置有四个支撑脚。本实用新型所述的一种双头分级单晶硅双面抛光机构,属于半导体设备领域,通过设置可升降的支撑板以及万向球,可以便于抛光机移动的同时又不影响其放置的稳定性;通过设置支撑臂、连接杆,可以便于推动支撑板、万向球上升或下降;通过设置调节丝杆,可以便于推动连接杆移动,从而最终提高了抛光机的实用性。
基本信息
专利标题 :
一种双头分级单晶硅双面抛光机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021749224.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-20
授权号 :
CN213106224U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
陈峰
申请人 :
浙江众晶电子有限公司
申请人地址 :
浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号
代理机构 :
温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
钱磊
优先权 :
CN202021749224.X
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02 B24B41/02 B24B47/22
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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