一种用于硅片加工的抛光机
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摘要

本实用新型公开了一种用于硅片加工的抛光机,使用时,将硅片放置在安装基座上,在启动升降气缸带动升降杆向下移动,进而带动第一交叉杆和第二交叉杆向下移动,上端板和下端板不仅能够将打磨盘调节到适当的位置,其本身也具有很好为稳定性,便于装置本体的使用;将下端板下端的打磨盘调节到合适的位置处后,在启动驱动电机带动安装基座在稳固座上进行转动,然后硅片自身也转动,通过稳固座上的嵌设柱能够使得安装基座稳固转动,使得硅片在打磨盘的下端稳定转动,便于提高硅片打磨的稳固性,此时将抛光液通过出液管和喷头进行喷洒,在安装基座转动的同时,能够带动硅片沿着打磨盘进行转动打磨,提高了打磨抛光的效率,经济实用,便于推广。

基本信息
专利标题 :
一种用于硅片加工的抛光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921991593.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-18
授权号 :
CN211760339U
授权日 :
2020-10-27
发明人 :
孙韬
申请人 :
宁波日晟新材料有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
代理机构 :
宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
朱玉泉
优先权 :
CN201921991593.7
主分类号 :
B24B7/22
IPC分类号 :
B24B7/22  B24B41/06  B24B47/12  B24B57/02  B24B41/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置,包括抛光平面玻璃表面;及其附件
B24B7/20
以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的
B24B7/22
用于磨削无机材料,如石头,陶瓷,瓷器
法律状态
2020-10-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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