一种加工硅片的工装
授权
摘要
本实用新型涉及硅片打磨技术领域,且公开了一种加工硅片的工装,包括双杆液压缸,所述双杆液压缸的底端和顶端分别固定安装有下底座和上底座,所述下底座顶部的右侧固定安装有第一密封管,所述上底座底部的右侧固定安装有第二密封管。该加工硅片的工装,通过在固定环的内腔活动套接两根限位杆,限位杆位于固定环内腔的一端安装有弧形板,同时限位杆的外表面活动套接有位于弧形板和固定环内腔之间的伸缩弹簧,同时向外抽动限位杆,改变两个弧形板之间的距离,从而实现了对不同直径大小硅片的固定,向外拉动限位杆后,伸缩弹簧会给弧形板一个向固定环圆心方向的作用力,保证硅片能够稳定固定在固定环的内腔当中,使得打磨效果更加显着。
基本信息
专利标题 :
一种加工硅片的工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921321787.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-14
授权号 :
CN211053294U
授权日 :
2020-07-21
发明人 :
刘爱军曹丙强庄艳歆周浪
申请人 :
江苏金晖光伏有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号
代理机构 :
扬州润中专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张琳
优先权 :
CN201921321787.6
主分类号 :
B24B7/22
IPC分类号 :
B24B7/22 B24B7/17 B24B27/00 B24B55/06 B24B55/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置,包括抛光平面玻璃表面;及其附件
B24B7/20
以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的
B24B7/22
用于磨削无机材料,如石头,陶瓷,瓷器
法律状态
2020-07-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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