腔体组件和硅片加工设备

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提出了一种腔体组件和硅片加工设备，其中，腔体组件包括：腔体，具有开口；阀板，设于开口处，阀板的一端与腔体铰接；驱动缸，一端与阀板铰接；驱动缸底座，固定设置，驱动缸的另一端和驱动缸底座铰接，其中，驱动缸通过伸缩驱动阀板转动。通过本实用新型的技术方案，有效地减少了阀板开关的部件，简化了结构，缩短了阀板开关的时间，还提升了对阀板的压紧力，有利于提升密封效果，降低驱动力。

基本信息

专利标题：

腔体组件和硅片加工设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020931278.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-28

授权号：

CN212251177U

授权日：

2020-12-29

发明人：

伍波梁建军候岳明

申请人：

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

尚志峰

优先权：

CN202020931278.1

主分类号：

F16K1/20

IPC分类号：

F16K1/20 F16K31/12 F16K31/04 F16K37/00 F16K51/02 H01L21/00

IPC结构图谱

F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破

F16

工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热

F16K

阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置

F16K

阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置

F16K1/00

提升阀，即带有闭合元件的切断装置，闭合元件至少有打开和闭合运动的分力垂直于闭合面

F16K1/16

带有装在枢轴上的闭合元件

F16K1/18

带有装在枢轴上的盘或瓣

F16K1/20

旋转轴线配置在阀元件之外

法律状态

2021-01-26 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : F16K 1/20
登记生效日 : 20210113
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
变更后权利人 : 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518118 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
变更后权利人 : 518118 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 常州捷佳创精密机械有限公司

2020-12-29 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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