硅片单片清洗工艺腔体结构
专利权的终止
摘要
硅片单片清洗工艺腔体结构，属于半导体硅片清洗领域。由载片台、旋转系统和多重药液收集杯组成，载片台支撑硅片，旋转系统带动载片台旋转，药液收集杯单独上下运动，一个药液收集杯开启，其它工艺药液收集杯均处于密闭状态。每个药液收集杯在空间上处于相对独立状态。本实用新型对不同工艺的药液的收集在空间上相对独立，有效地减少了药液间的交叉污染，对药液回收后的后续处理、再利用、排放等提供了极大便利。同时因为沉积物的减少，方便了设备的维护保养，延长了设备使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
硅片单片清洗工艺腔体结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820140154.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-10-15
授权号 ：
CN201364880Y
授权日 ：
2009-12-16
发明人 ：
侯瑞兵
申请人 ：
北京中联科伟达技术股份有限公司
申请人地址 ：
100012北京市朝阳区北苑路40号(北京有色金属与稀土应用研究所院内)
代理机构 ：
北京市商泰律师事务所
代理人 ：
毛燕生
优先权 ：
CN200820140154.0
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/02 H01L21/306 B08B3/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2018-11-09 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/00
申请日 : 20081015
授权公告日 : 20091216
申请日 : 20081015
授权公告日 : 20091216
2017-02-08 ：
文件的公告送达
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101746109392
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 视为未提出通知书
号牌文件序号 : 101746109392
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 视为未提出通知书
2017-01-11 ：
文件的公告送达
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101744775242
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 恢复权利请求审批通知书
号牌文件序号 : 101744775242
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 恢复权利请求审批通知书
2017-01-11 ：
文件的公告送达
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101744775264
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 缴费通知书
号牌文件序号 : 101744775264
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 缴费通知书
2016-11-09 ：
文件的公告送达
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101741425372
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 办理恢复权利手续补正通知书
号牌文件序号 : 101741425372
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 办理恢复权利手续补正通知书
2016-08-10 ：
文件的公告送达
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101736948745
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 专利权终止通知书
号牌文件序号 : 101736948745
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 专利权终止通知书
2016-01-13 ：
文件的公告送达
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101726668902
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 缴费通知书
号牌文件序号 : 101726668902
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
专利申请号 : 2008201401540
收件人 : 北京吉阳技术股份有限公司
文件名称 : 缴费通知书
2012-07-11 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101423529759
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京中联科伟达技术股份有限公司
变更后 : 北京吉阳技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100012 北京市朝阳区北苑路40号(北京有色金属与稀土应用研究所院内)
变更后 : 100012 北京市朝阳区北苑路40号(北京有色金属与稀土应用研究所院内)
号牌文件序号 : 101423529759
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2008201401540
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京中联科伟达技术股份有限公司
变更后 : 北京吉阳技术股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100012 北京市朝阳区北苑路40号(北京有色金属与稀土应用研究所院内)
变更后 : 100012 北京市朝阳区北苑路40号(北京有色金属与稀土应用研究所院内)
2009-12-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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