一种硅片工艺槽在线清洗组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片工艺槽在线清洗组件，包括一级进水管路、二级进水管路及喷水管路，喷水管路与反应器一一对应设置；一级进水管路通过一级进水管夹卡接固定在槽体内壁，二级进水管路通过二级进水管夹卡接固定在槽体内，喷水管路通过喷水管夹卡接固定在反应器上；一级进水管路上设置有气动阀及手动调节阀并；喷水管路上沿轴向开设有至少一排对应反应器表面的喷水孔。本实用新型使用时预先通过手动调节阀打开一级进水管路，并通过PLC控制器控制气动阀自动的控制喷水管路的开关，在需要清洗反应器时可以通过一键控制，节省了人力和时间，大大降低了成本，提高工作效率，并有效保证了反应器上无结晶残留。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片工艺槽在线清洗组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123385661.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216574463U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
张淋许亚琴
申请人 ：
苏州普伊特自动化系统有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区临湖镇浦庄大道2988号3栋厂房一层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123385661.5
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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