一种硅片加工设备
授权
摘要
本实用新型涉及硅片生产技术领域,具体是一种硅片加工设备,包括机架,所述机架上安装有作业架,所述机架的底部安装有工作台,所述作业架横向安装有传动螺杆,所述传动螺杆的螺纹段通过螺纹连接安装有传动套,所述传动套的底端安装有固定架,所述固定架上安装有作业机头,所述作业机头内置打磨电机,所述打磨电机的驱动端安装有打磨辊,所述作业架的顶部侧边安装有驱动电机,所述驱动电机的驱动端安装有传动斜齿轮,所述传动螺杆的非螺纹段分别安装有第一从动斜齿轮和第二从动斜齿轮,所述传动斜齿轮分别与第一从动斜齿轮和第二从动斜齿轮呈交替式啮合。本实用新型能够批量性对硅片元件进行打磨作业,同时保证作业的稳定性。
基本信息
专利标题 :
一种硅片加工设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920582704.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-25
授权号 :
CN209774203U
授权日 :
2019-12-13
发明人 :
石坚朱棣李杰于友刘世伟
申请人 :
山东九思新材料科技有限责任公司
申请人地址 :
山东省济宁市泗水县泗河街道泉济路23号
代理机构 :
济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张营磊
优先权 :
CN201920582704.2
主分类号 :
B24B7/20
IPC分类号 :
B24B7/20 B24B41/06 B24B41/02 B24B47/04 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置,包括抛光平面玻璃表面;及其附件
B24B7/20
以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的
法律状态
2019-12-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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