硅片清洁设备

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型提供一种硅片清洁设备，包括行走臂及安装在所述行走臂侧边的清洁装置，所述清洁装置包括固定装置、安装在所述固定装置上的风刀装置、硅片支撑装置、安装在所述硅片支撑装置上的感应装置及与感应装置电信或信号连接的控制装置，所述控制装置控制所述风刀装置的开闭。相较于现有技术，本实用新型通过在清洁装置上设置感应硅片的感应装置，从而使清洁装置通过感应装置的感应自动进行硅片清洁，避免了压缩空气的浪费、降低了压缩空气产生的噪音及有效清除了硅片表面的脏污。

基本信息

专利标题：

硅片清洁设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922325001.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-23

授权号：

CN211376654U

授权日：

2020-08-28

发明人：

宋德义王志宝孙贤乔勇李书坤

申请人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号

代理机构：

苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

于欣

优先权：

CN201922325001.4

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/67