本实用新型公开了一种链式硅片加工装置的传动机构和链式硅片加工装置，该传动机构包括支架、主轴、主齿轮、副齿轮和喷淋组件，支架内设有集水槽，主轴可转动地设在支架上，且主轴位于集水槽的上方，主齿轮为多个，多个主齿轮沿主轴的轴向方向间隔分布，副齿轮为多个，多个副齿轮与多个主齿轮一一对应设置，且每个副齿轮均与主齿轮传动啮合，喷淋组件与支架相连且位于主齿轮和副齿轮的上方，喷淋组件被配置为朝向主齿轮和副齿轮喷射液体。本实用新型的链式硅片加工装置的传动机构，降低了主齿轮和副齿轮之间的摩擦，减缓了主齿轮和副齿轮之间的磨损，提高了链式硅片加工装置传动机构在长时间运行时的可靠性。