一种硅片用链式抛光装置
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摘要
本实用新型公开了一种硅片用链式抛光装置，包括滚轮、以及设置在滚轮传送方向上的碱抛区、第一水洗区、酸洗区、第二水洗区、喷淋区、烘干区、滚轮区、皮带传送区及下料区；所述烘干区和滚轮区设置有翻转机构，所述翻转机构包括驱动装置、两侧的第一支架、设置在两侧第一支架之间的多个翻转页。本实用新型的装置大大提高了硅片抛光面的表面质量，降低了不良品的产生；对现有的链式设备稍加改造便可实现，有利于推广利用。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片用链式抛光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022184799.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
CN213795941U
授权日 ：
2021-07-27
发明人 ：
陈其成裴银强陈培良
申请人 ：
常州时创能源股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022184799.8
主分类号 ：
B24B41/00
IPC分类号 ：
B24B41/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
法律状态
2021-07-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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