本实用新型公开了一种边缘抛光硅片吸附装置，包括基座，所述基座的顶部中间位置焊接有固定架，且固定架的顶部中间位置开有通槽，所述固定架靠近通槽的底部两侧均焊接有支架，且支架的相对一侧外壁焊接有同一个筒体，所述筒体的顶部粘接有插接在通槽内的吸盘，且筒体的底部开有通孔，所述通孔的内部插接有连接杆，且连接杆的底部焊接有限位板，所述连接杆延伸至筒体内的顶部焊接有固定板，且固定板的外部粘接有密封塞。本实用新型使得吸盘内部形成负压，将硅片吸附在装置上，保持硅片的固定性能，并将整个吸附装置固定在抛光装置上，通过第一弹簧和缓冲垫对硅片的底部两侧进行支撑和缓冲，保持硅片在抛光过程中的稳定性能。