本发明涉及一种边缘抛光装置，包括本体、驱动组件和抛光头，本体包括环形支架，环形支架上延其周向固定有多个抛光头，驱动组件用于控制本体旋转以带动抛光头旋转对晶圆边缘进行抛光，抛光头包括抛光盘，抛光盘通过一连接结构连接于环形支架上，连接结构包括沿着环形支架的周向方向延伸设置的滑轨，抛光头可移动的设置于滑轨上，且抛光头和滑轨的一端连接有弹性位移传感器，用于感应抛光头在滑轨上的移动距离；驱动组件包括处理单元，用于根据弹性位移传感器的信号获取抛光头与晶圆之间的摩擦力，并发送控制信号；驱动组件还包括执行单元，用于根据控制信号调节本体的转速，以调节抛光头对晶圆施加的压力，以保持抛光速率恒定。