一种硅片边缘抛光装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片边缘抛光装置，所述边缘抛光装置用于抛光位于硅片边缘处的缺口，所述抛光装置包括：夹具，所述夹具以所述硅片的端面在竖直平面内的方式夹持所述硅片；用于抛光所述缺口的研磨垫，所述研磨垫在水平面内绕中心轴线旋转；布置在所述研磨垫上方的抛光液供给模块，所述抛光液供给模块向所述缺口提供抛光液。所述装置通过夹具在竖直平面内接收硅片以及研磨垫在水平面内旋转的结构防止抛光液流到硅片表面，从而避免引起粗糙度异常、金属污染以及颗粒残留等品质问题。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片边缘抛光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123355342.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216542412U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
聂阳
申请人 ：
西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
代理机构 ：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李斌栋
优先权 ：
CN202123355342.X
主分类号 ：
B24B9/06
IPC分类号 ：
B24B9/06 B24B29/02 B24B57/02 B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置；其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的，如石头，陶瓷制品，瓷器
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
