本实用新型提供了一种硅片抛光过程中抛光液泄漏用报警装置，硅片抛光过程中采用蠕动泵供应抛光液，该蠕动泵的滚轮的外围上套设有软管，该报警装置包括收集盒、报警机构及在竖直方向设置的安装板，蠕动泵、收集盒及报警机构均安装在安装板上，安装板上设置有测试孔；安装板上设置有凸型卡块，收集盒包括盒体，该盒体上端设置有用于收集泄漏液的开口，盒体上设置有与卡块相配合的卡槽；盒体靠近安装板的一侧设置有通孔；报警机构包括安装架、报警器、控制器以及漏水传感器，该装置可在蠕动泵管路破损发生轻微泄漏时即可及时产生报警，提醒操作人员维修更换。