本实用新型提供了一种抛光吸盘垫安装治具和边缘抛光装置，所述抛光吸盘垫安装治具用于将吸盘垫圈和吸盘垫安装于抛光吸盘上，吸盘垫圈至少环绕安装于抛光吸盘的凸台的外周上，吸盘垫安装于吸盘垫圈和凸台的顶表面上；所述抛光吸盘垫安装治具包括可拆卸地环绕设置于凸台下方的抛光吸盘的外周上的支撑架，且支撑架位于吸盘垫圈的下方，以在凸台上安装吸盘垫圈和吸盘垫的过程中支撑吸盘垫圈和吸盘垫的边缘，并在吸盘垫圈和吸盘垫安装好之后拆除。本实用新型的技术方案能够避免抛光吸盘的凸台的侧壁和吸盘垫圈之间形成空隙，进而避免导致在空隙位置处的晶圆的底面产生凹坑缺陷，从而避免导致晶圆的良率下降。