一种抛光治具装置
授权
摘要

本实用新型提供一种抛光治具装置,所述装置包括抛光治具本体和中间载具,所述抛光治具本体具有开孔,所述开孔的圆周面包括传动结构,所述中间载具通过所述传动结构连接在所述抛光治具本体的所述开孔内。本实用新型提供的装置提高了抛光治具的刚性以克服容易爆盘的缺陷,缩短了晶片的加工时间,有效地节省了加工成本。

基本信息
专利标题 :
一种抛光治具装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922043833.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-22
授权号 :
CN212095829U
授权日 :
2020-12-08
发明人 :
匡怡君
申请人 :
上海联兴商务咨询中心
申请人地址 :
上海市奉贤区沿钱公路5601号1幢
代理机构 :
北京市海问律师事务所
代理人 :
陈吉云
优先权 :
CN201922043833.7
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02  B24B41/06  B24B41/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2020-12-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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