本实用新型公开了一种硅片加工用抛光装置，包括底座，所述底座的底部固定连接有万向轮，所述底座的内腔活动连接有阻尼限位板，所述阻尼限位板的底部固定连接有弹簧，所述阻尼限位板的顶部固定连接有活动板，所述活动板的顶部贯穿至底座的顶部并固定连接有抛光机，所述底座的两侧均固定连接有固定板，所述固定板的顶部设置有转盘，所述转盘的底部固定连接有螺纹杆。本实用新型通过设置底座、活动板、万向轮、底板、固定板、抛光机、框架、门框、钢化玻璃、盖板、连接管、排水阀、转盘、螺纹杆、万向管、弹簧和阻尼限位板的配合使用，解决了现有的硅片加工用抛光装置不便于使用者使用，且减震、隔音和降噪效果较差的问题。