硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆加工设备领域。硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，包括抽风箱、废蜡收集桶、一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管，主滴蜡管的下端连接有一PVC伸缩管，PVC伸缩管伸入废蜡收集桶内，废蜡收集桶位于密封箱体内；主滴蜡管位于密封箱体内且位于废蜡收集桶上方的区域开设有一缺口，缺口与一沟槽长度方向上的一端对接联通，沟槽的上端开口；所有的副滴蜡管的下端开口正对沟槽的上端开口，且副滴蜡管的下端开口伸入沟槽的上端开口。本专利通过沟槽使得三个副滴蜡管与主滴蜡管联通，废蜡收集桶放置于密封箱体内，使用PVC伸缩管在密封箱体内与废蜡收集桶联通，提高三个副滴蜡管的抽风效果，不影响滴蜡和废蜡的收集。
基本信息
专利标题 ：
硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020979943.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-02
授权号 ：
CN212794571U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
周峰贺贤汉
申请人 ：
上海中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区山连路181号1幢
代理机构 ：
上海申浩律师事务所
代理人 ：
陆叶
优先权 ：
CN202020979943.4
主分类号 ：
B24B57/00
IPC分类号 ：
B24B57/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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