一种链式硅片清洗槽及硅片加工装置

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摘要

本实用新型公开了一种链式硅片清洗槽及硅片加工装置，该链式硅片清洗槽包括主水槽、运输滚轮、第一赶液轮和喷淋机构。运输滚轮位于主水槽上方，运输滚轮被配置为驱动硅片运动，第一赶液轮设在主水槽沿硅片运输方向的末端上方，第一赶液轮被配置为将硅片上的液体赶入主水槽内，喷淋机构被配置为朝向硅片喷射清洗液。该链式硅片清洗槽，由于第一赶液轮可将附着在硅片上的液体赶入主水槽内，降低了硅片被清洗完毕时其上附着的清洗液含量，从而降低了对后续工艺槽的影响。

基本信息

专利标题：

一种链式硅片清洗槽及硅片加工装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921382922.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-23

授权号：

CN210523246U

授权日：

2020-05-15

发明人：

易书令马晓林潘岳林姜大俊潘励刚郑旭然

申请人：

盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201921382922.8

主分类号：

B08B3/10

IPC分类号：

B08B3/10 B08B3/08 B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67