一种便携式硅片抛光装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种便携式硅片抛光装置,涉及硅片抛光技术领域,为解决现有抛光装置携带不便,且只能针对硅片的一面进行抛光,不能两面同时进行,从而耗费时间,降低工作效率的问题。所述箱体内部固定设置有隔板,所述隔板的一侧为第一抛光室,所述隔板的另一侧为第二抛光室,所述第一抛光室和第二抛光室的内部均固定设置有外壳罩,所述外壳罩的一侧为齿轮室,所述外壳罩的另一侧为工作室,所述箱体外壁的两侧均固定设置有电机,且电机的输出端均延伸至齿轮室的内部,所述电机输出端的外壁上固定设置有第一齿轮,所述第一齿轮的两侧均设置有第二齿轮,所述第二齿轮的内部固定设置有转轴,且转轴与箱体的内壁通过轴承转动连接。
基本信息
专利标题 :
一种便携式硅片抛光装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021091823.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-12
授权号 :
CN213004535U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
周良海
申请人 :
南京蔚蓝新材料科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江宁区湖熟街道龙都社区虹南北路28号
代理机构 :
南京禾易知识产权代理有限公司
代理人 :
王彩君
优先权 :
CN202021091823.7
主分类号 :
B24B29/02
IPC分类号 :
B24B29/02 B24B41/02 B24B41/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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