一种硅片清洗工装
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片清洗工装，属于硅片清洗技术领域，包括基座，所述基座上端固定安装有清洗池，所述清洗池两侧固定安装有超声波发射器，所述超声波发射器一端外侧壁上固定安装有两根接线柱，所述接线柱上固定连接有通电线，所述超声波发射器另一端外侧壁上固定安装有声波发射管，所述超声波发射器内部连接安装有声波弦，所述清洗池内部贯穿安装有清洗液混合器，所述清洗池上端隔空安装有硅片加持器，所述硅片加持器焊接安装于升降臂上。本实用新型设计新颖，便于操作且使用效果好，提高硅片清洗效率和硅片的清洗质量，可将清洗液的清洗剂与水液进行充分混合，提高了清洗剂的清洗剂利用率，还可对硅片进行紧固加持，便于清洗硅片。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片清洗工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020375725.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-23
授权号 ：
CN212168370U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
梁树海林国梁
申请人 ：
厦门健康伦自动仪器有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市海沧区翁角西路2054号3号楼第1层02单元南侧之一单元
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020375725.X
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/10 B08B3/08 H01L21/67 B01F7/22
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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